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精密工艺对环境有哪些严格要求？
发布时间：2018-07-26 14:36:34点击：193
1：保持温度恒定(控制在22oC-24oC,温差1-2oC之内)
2：保持湿度恒定(控制在50%RH,精度3%~5%RH之内)
3：空气洁净度0.5微米/升 < 18,000
4：换气次数 / 小时 > 30
5：新风量 30m3 / 人.小时
6：机房正压 > 10 Pa
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